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芯片是如何实现“坐拥”百亿个晶体管的?

康尔信电力系统 2020-04-02 08:58 发文

如今随着芯片制程的不断提升,芯片中可以有100多亿个晶体管,如此之多的晶体管,究竟是如何安上去的呢?其实晶体管并非是安装上去的,芯片制造其实分为沙子-晶圆,晶圆-芯片这样的过程,而在芯片制造之前,IC涉及要负责设计好芯片,然后再交给晶圆代工厂。

提炼单晶硅锭

最廉价的硅来源非沙子莫属,因此半导体材料中采用的硅元素就是从沙子(SiO)中提取出来的。

通常,生产单晶硅锭的公司会将沙子从的硅元素提取出后来经过高温整形、多次提纯等手段得到电子级硅(EGS),纯度为99.9999%。

然后将纯硅在1400C的锅中融化,把包含所需晶体取向的小晶种插入熔融的硅中,再缓慢地(1毫米/分钟)拔出,这样硅晶体就被制造成了圆柱形的单晶硅锭,单个单晶硅锭的重量约为100公斤。

晶圆加工

主要包含两个步骤:第一步是将单晶硅锭横向锯成圆盘,再进行抛光和晶体定向,得到如镜面般平整的晶圆;第二步是对晶圆进行热氧化,这个时候纯硅会经过充氧的高温炉,从而在表面形成一层很薄的二氧化硅,作为晶体管的进时栅极氧化物层。

光刻

所谓的光刻工艺包括掩膜和光蚀刻两个部分。首先是将具有抗光蚀能力的光刻胶涂敷到晶圆上,在硅基表层形成电路图案。

然后利用光对准器将晶圆对准掩膜,晶圆将透过掩膜镂空部分暴露在紫外线下,此时暴露部分的光刻胶变成可溶状态,从而将掩膜版上的电路结构临时复制到硅基上。

刻蚀

按光刻机刻出的电路结构,在硅片上进行微观雕刻,刻出沟槽或接触孔。

具体来说,刻蚀是利用显影后的光刻胶图形作为掩模,再借助化学液体或等离子体在衬底上腐蚀掉一定深度的薄膜物质,随后得到与光刻胶图形相同的集成电路图形。

离子注入

离子注入是芯片制造工艺中的一种重要的掺杂技术,也是控制MOSFET阈值电压的一个重要手段。

通常是在真空、低温的环境下,将磷化氢或三氯化硼杂质离子加速,获得有一定动能的杂质离子,然后将离子束摄到敷有光刻胶掩膜的晶圆上。

有光刻胶掩盖的部分,离子束无法穿透光刻胶而被阻挡开来;没有掩盖的部分,离子束会被注入到衬底上,实现掺杂,而掺杂深度取决于离子束的能量。

离子注入完成后,必须进行光刻胶的彻底清除工作,才能进入下一环节。

金属化

金属化指的是采用沉积等方式将金属薄膜沉积到晶圆上,再通过金属薄膜光刻,形成表面金属连线,将各个元器件连接到一起的工艺。

因此第一步就是要刻蚀出接触孔。第二步是制备金属薄膜,主要导电金属材料可能是铝合金或金,手段通常包括蒸发、溅射、金属CVD以及电镀等,目前金属CVD因具有很强的台阶覆盖能力。

第三步是采用光刻和刻蚀工艺或剥离技术去除布线以外的部分,形成相互连接的金属导线。第四步是进行合金化的热处理,从而保证芯片和金属之间有较好的导电性。

最后是平坦化,减少因晶圆表面的不平整度带来的光传播的精确度受损,从而影响其准确地进行图形制作的一种工艺。这种工艺不仅会被用到表层,当金属层增加的时候也会被用到中间层中。

晶圆测试

当载有集成电路的晶圆加工出来之后,需要对其进行测试,主要目的是减少封装的成本,提早筛选出有问题的集成电路模块(芯片原型)。

具体操作是采用探针测试平台,在无尘室中根据事先定义好的测试点对芯片原型进行交直流、光照等电气性能测试。

该测试通过治具可以对测试平台上的晶圆进行一次性测试,而无需对芯片逐一进行,因此测试效率较高。

切割与封装

每个晶圆都包含数百至上万个芯片,通过金刚石锯将晶圆切割成单片,经过减薄工序,然后针对每一个单片(芯片)进行电气测试。

如果测试结果有问题,这颗芯片就会被丢弃;如果测试结果合格,该芯片就会被送去封装。在封装前,将会使用显微镜对芯片进行复检,只有通过复检的芯片才会被真正封装起来。

封装测试

对于芯片来说,出厂前测试主要包含三个方面,前两项分别是晶圆测试和芯片测试。最后一项测试是封装测试,也就是芯片出厂前测试。据统计,这三项测试将会占据整个芯片生产成本的比例高达1/4至1/2。

此时的待测芯片已经包裹了一层封装,没有那么脆弱了,因此对于测试环境要求也没有那么严苛,不需要无尘室测试了。

但是对于封装测试而言,由于封装本身的阻挡,测试探针无法触及芯片内部,测试范围受到限制的同时,也增加了测试的复杂度。

据悉,一般的芯片封装测试包括各种环境下的消耗功率、发热量、运行速度、耐压度等多项电气特性测试,在测试过程中往往需要大量的编程、烧录验证工序。

有的时候根据客户的要求,也会做一些针对性测试,看是否满足客户的需求。当测试结果一切正常,该芯片就会被打上规格、型号及出厂日期等丝印,等待打包出厂了。

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