随着《药品生产质量管理规范》的实施，我国家对药品生产的管理更加严格。目的是防止生产中的污染、混乱、交叉污染和人为错误。其中，净化空调是整个制药系统的重要组成部分。洁净室要达到相应的室内环境，除了控制洁净室空气的含尘浓度外，还必须控制细菌和微生物的数量。
虽然进入洁净室的空气已通过初、中、高效三级过滤器过滤，大部分的尘埃粒子和附着在其上的细菌微生物被阻挡在洁净室之外，但它们仍然存在于空调系统的设备、管道、通风口和过滤器中，一旦有合适的环境，它们就会大量繁殖和繁殖。还有一小部分细菌和微生物透过各级过滤器进入洁净室，成为洁净室微生物。洁净室如果不进行消毒灭菌，它们就会不断繁殖，破坏室内空气环境质量，影响产品质量。因此，洁净室应定期进行消毒灭菌。
臭氧的分子式为O3，其分子量为48.00它是同素异形体，由三个氧原子组成。臭氧是一种强氧化剂，其氧化还原电位仅次于氟，居第二位。臭氧在一定浓度条件下能与细菌、病毒等微生物发生生化氧化反应，从而确定臭氧具有很强的杀菌能力。
臭氧的杀菌机理和过程被归类为生化氧化反应。臭氧氧化分解细菌内葡萄糖氧化所必需的葡萄糖氧化酶。还能直接与细菌和病毒相互作用，破坏其细胞器和核核酸，分解DNA、RNA、蛋白质、脂类和多糖等大分子聚合物，破坏细菌的物质代谢、生长繁殖过程。还能穿透细胞膜组织，侵入细胞膜，作用于外膜脂蛋白和内部脂多糖，引起细胞通透性扭曲而导致细胞溶解死亡。将死菌中的基因、寄生菌、寄生病毒颗粒、噬菌体、支原体、热原（内毒素）溶解、变性、杀灭。
臭氧消毒以空气为原料，不需要任何其他辅助材料和添加剂。运行过程中会产生一定量的臭氧。在相对封闭的环境中，涂抹均匀，耐受性好。克服了紫外线杀菌存在的诸多盲区的固有缺点，可达到全方位、快速、高效的消毒杀菌目的。臭氧传感器主要用于生物制药的洁净车间，来监测臭氧的浓度。工采网下面推荐两款臭氧传感器：
美国ECO 臭氧传感器 - OEM-3，集成了电源、最终传感器信号处理、设定点控制、模拟输出信号和输出继电器，零按钮允许重新调零传感器输出。
美国SPEC Sensors 小体积臭氧传感器 (O3传感器) - 3SP-O3-20,超薄型印刷传感器易于集成到无线，手持及其他网络方案中;由于其高性能，低成本和小体积，这些传感器是健康，环境，工业和住宅监测的理想之选。
美国SPEC Sensors 臭氧模拟输出模块 - ULPSM-O3 968-005，可以将线性电流信号输出转换为线性电压信号，同时保持传感器在理想的有偏差的操作环境下，0到3 V模拟信号输出，低功率消耗小于45 w。
