【呼吸机是抗疫救人的关键防线】
据新冠肺炎实时疫情数据显示，截至北京时间9月1日6时30分，全球累计确诊新冠肺炎病例25595879例，累计死亡病例853538例。随着以美国、印度等海外国家疫情的持续蔓延，呼吸机作为抗疫救人的一道关键防线，在疫情施救的过程中肩负了重要的作用与使命。
【微压传感器是呼吸机的核心器件】
据燧硅微技术负责人Henry Wang介绍，目前呼吸机设备中最关键的一个核心器件则是传感器，其中包括超微压流量传感器以及微压压力传感器。超微压流量传感器主要是用于对气道内气体的流量进行精确测量，后跟据患者实际呼吸速度的快慢，精准地对呼吸机的通气速度进行控制，使患者呼吸和进气频率保持一致。而微压压力传感器则是将气道压力转化为差值电信号，并将测量值交给电路微处理器准确做出吸气和呼气判断，之后由微处理器发出指令控制气泵，增大或者减小管道压强，使患者呼吸自然顺畅。
此前市场上大部分呼吸机厂商均选用国外厂商制造的传感器产品，例如：TE（美国泰科），Amphenol（美国安费诺），Sensirion（瑞士盛思瑞），Honeywell（美国霍尼韦尔）等，而且价格不菲，市场价格均在数十美元。
【国内替代或成当务之急】
作为至关重要的应用于医疗设备领域的传感器产品，必需是能够在不同环境条件下都具有高重复性、高精确度、高可靠性等关键特征。
国内传感器厂商由于起步较晚、技术经验积累不足与产业链完善程度的低下等原因，仅有少数厂商可以通过购买国外的传感器晶圆，到国内来进行封闭测试与标定，然后输出完整的传感器产品。随着近年来美国主导的贸易战，阻断了部分材料的来源，并且由于贸易战的不断升级，整个产业链中大部分关键材料与技术都被封锁了，以致于大部分国内呼吸机厂商都因‘一芯难求‘而导致产能下降或停产。
在如此大环境下，国内替代已经迫在眉睫，如箭在弦不得不发。其中最为关键的特种工艺晶圆制造、超高精度校准与标定自动化设备成为国内替代的关键所在。
【虽阻但行，硕果累累】
虽然困难重重，但仍然无法阻止国人科技进步的决心。经过多年的不懈的研发与实验，通过自主设计相应的特种工艺结构与制程、全自动超精细温点补偿标定技术等，无锡燧硅微系统（flintMEMS）自主研发并量产的医用超微压压力传感器FM191D系列在性能与可靠性上已经可以达到世界领先水平，其中型号为FM191D－DS3AI－002WDP，3．3v 供电，10－90％ IIC数字输出，－2～2英寸水柱压力量程、FM191D－DS3AI－002WGP，3．3v 供电，10－90％ IIC数字输出，0～2英寸水柱压力量程，其封装尺寸均可做到10mm＊12．5mm。
目前已经获得了包括ResMed（澳大利亚瑞思迈）、Maquet（瑞典迈柯唯）、Weinmann（德国万曼）在内的位于世界前列的医疗设备大厂的认可。
与此同时，国内为数不多的专业呼吸机大牌厂商也纷纷与燧硅微及其关联公司建立了产品合作，例如：航天科工旗下的航天长峰股份、北京易世恒电子、北京宏润达科技、上海力新仪器、江苏凯泰医疗等一大批国产知名品牌厂商。
截止记者发稿之日，燧硅微二0二0年仅医疗设备行业累积交付量已经超过60万颗，其中各类呼吸机用的超微压／微压流量＆压力传感器占17％左右，交付量约为10万颗。
