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再传捷报!中国国产5nm蚀刻机获认可,中国芯“弯道超车”?

康尔信电力系统 2020-07-01 16:26 发文

从去年开始,中微5nm刻蚀机被台积电认可,即将打入台积电5nm芯片生产线的消息就传出来了。而据最新消息,今年确实已经正式投入生产。对此消息,网上议论纷纷,有不少人认为是“中国芯片行业的弯道超车”。

中微的技术突破

据悉,近几年来,我国的芯片制造设备95%依赖于进口,核心设备基本上被国外公司垄断,我们亟需国产设备制造企业,而中微可以说是当中的佼佼者。

2004年,尹志尧与杜志游、倪图强等40多位半导体设备博士、专家共同创办了中微公司。近年来,中微向全球的微观加工高端设备公司提供服务,在半导体市场获得极高的评价,在多个技术领域跻身国际一流水平。例如:在全球薄膜沉积设备供应商排名中荣登榜首;在刻蚀和清洗设备供应商排名中位列第二;在台湾晶圆制造设备供应商排名中也仅次于荷兰半导体设备巨头ASML。

现在,中微自主研发的5nm等离子刻蚀机也被台积电认可,投入生产线使用。

蚀刻机诞生:售价不菲依旧获得台积电青睐

虽然中国半导体设备企业,未能够成功进入到全球前十榜单之中,但实际上在很多半导体设备领域,中国半导体企业都已经取得了新的技术突破,尤其是在芯片蚀刻机领域,更是实现了技术全球领先。

据报道,中微半导体所生产的蚀刻机,已经能够达到了5nm制程工艺水准,并且每台售价更是高达2000万元,虽然售价不菲,但依旧得到了台积电方面的青睐。目前中微半导体所生产的5nm芯片蚀刻机,已经能够被台积电用于苹果A14系列、麒麟1020系列芯片的生产。

不仅如此,中微半导体目前正在研究3nm的刻蚀机,比起国际顶尖大厂应用材料来,进度也一点也没有落后。

5nm是什么概念

相当于头发丝直径(约为0.1毫米)二万分之一这么小,要是用这么细小的笔尖写字,就可以在一粒大米上,写出十亿个中文字。方寸间近乎极限的操作,对刻蚀机的控制精度提出超高要求。

正式由于技术的艰难,才彰显出了中国科技突破的可贵。

同时,就在刻蚀机获得了台积电认可之后, 近日中微半导体又获大单,国产内存企业长江存储一下子就向中微半导体采购了9台刻蚀机。

而中微还表示,接下来公司还会有很多订单,像长江存储、华虹系、粤芯、积塔半导体、合肥长鑫以及中芯国际等多条产线或都可能采用。

刻蚀机是什么

刻蚀机是芯片制造的核心装备。现代信息技术和人工智能,都是以芯片为基础的。而刻蚀机作为制造芯片的工具,就相当于农业时代的人手,工业时代的机床。主要用于芯片上微观雕刻,每个线条和深孔的加工精度都是头发丝直径的几千分之一到上万分之一,精度控制要求非常高。

这绝对是值得我们欣喜的事,但是这项技术的突破是不是能带领我们芯片行业迅速发展,达到“弯道超车”的效果呢?我们确实需要冷静思考一下。

刻蚀只是芯片制造的工序之一

IC业界电子工程师张光华:“一两年前网上就有中微研制5nm刻蚀机的报道。如果能在台积电应用,的确说明中微达到世界领先水平。但说中国芯片‘弯道超车’就是夸大其词了。”

他还表示,芯片制造的整个工序,都需要复杂的技术,而我国现在在大部分工序上都要落后于西方国家。为什么这么说呢?

据了解,芯片的整个制造流程极其复杂,包括切割晶圆、涂膜、光刻、刻蚀、掺杂、测试等工序,刻蚀只是整个复杂工序中的一道工序。从技术层面上说,光刻机的研发才是最困那个,而刻蚀机的难度就相对低一些,现在的刻蚀机精密度水平已经远超光刻机的精度水平,所以现在芯片最大的难题,不在刻蚀精度上,而在光刻精度上,换句话说,芯片制造的技术水平是由光刻机决定的。

而从工序设备占所有制造设备投入比例来说,光刻机差不多占所有制造设备投入的25%、刻蚀机占所有制造设备投入的15%,也在一定程度上说明这两种设备谁更复杂,谁更重要。

在这点上,就连中微本身,也没有我们那么乐观。中微尹志尧博士就很抗拒‘弯道超车’这样的高帽子。尹志尧博士曾表示,“不要老把产业的发展提高到另一高度,更不要让一些新闻人和媒体搞吸引眼球的不实报道。对我和中微的夸大宣传搞得我们很被动……过一些时候,又改头换面登出来,实在让我们头痛。”

所以,中微5nm刻蚀机打入台积电生产线,是我国在芯片制造工艺中的重大突破,其意义重大,但“弯道超车”的言论,有些言过其实,言之过早了。

中国半导体设备自主道路还很漫长

当然,我们也不能太过妄自菲薄,长他人志气,灭自己威风,我们的发展是切切实实的,我们的多项技术已经据世界前茅甚至首位,打破国外的垄断地位和封锁,也是不争的事实。

就比如中微5nm刻蚀机,确实已经处于国际一流水平,并且打破了美德的垄断,让美国认识到中微在中国大陆可以做出在国际有同样竞争力的刻蚀机,决定把刻蚀机从美国对中禁售的单子上去掉。

再比如华为5G技术,是将引领通信行业发展,制定行业规则和标准的国际领先技术。

所以,我们前面的路还很长,也许‘弯道超车’的可能性低之又低,但我们会走得越来越稳、越来越快。今天能有了第一台5nm刻蚀机制造者,明天就能有第一台5nm光刻机。彼时,我们可以说“中国芯片生产技术终于突破欧美封锁,第一次占领世界制高点”。

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