中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟团体标准《碳化硅单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》起草工作启动会于2020年11月11日上午在国宏中晶集团总部会议室顺利召开。
《碳化硅单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》团体标准由国宏中宇科技发展有限公司（下称“国宏中宇”）牵头，邀请天科合达半导体股份有限公司和北京聚睿众邦科技有限公司参与起草，联盟副秘书长郑红军女士、国宏中宇王锡铭副总工程师、聚睿众邦总经理闫方亮博士、国宏中宇高级技术主管刘素娟、天科合达工程师王大军等7人参加了此次启动会。会议由团体标准项目负责人国宏中宇王锡铭副总工程师主持。
启动会现场
首先王锡铭副总工程师向大家简单介绍了公司的基本情况，以及公司在碳化硅材料产业化方面取得的一些进展。郑红军副秘书长向大家介绍了联盟团体标准的建设情况及意义。国宏中宇高级技术主管刘素娟向大家汇报了团体标准工作小组的情况，以及项目的实施情况。会议针对《碳化硅单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》团体标准立项项目的内容进行了讨论，参加人员对这项标准的内容提出自己的想法和修改建议。通过讨论，明确了标准的内容和实施细节，并制定了团体标准的实施计划。会后，王锡铭副总工程师和郑红军副秘书长与聚睿众邦总经理闫方亮博士就衬底和外延的产业验证相关检测技术问题进行了更深入的交流。
碳化硅材料作为新一代半导体材料，具有很广泛的应用前景，所以，制定碳化硅材料和器件相关的标准具有重要意义，希望有更多的单位能够参与到标准的起草工作中来。
