◎文 | 江禾◎编辑 | 小木
管制禁令下，进入2024年，中国光刻机进口需求仍然旺盛。
据海关数据统计，今年1-2月，中国从荷兰进口光刻机额10.57亿美元，远超去年同期（2.97亿美元）。其中，山东进口额为1.31亿美元，排在全国第三，进口了2台光刻机。上海、北京进口额位列前两位，分别为3.03亿美元、1.45亿美元，进口11台、8台光刻机。
而2023年，中国从荷兰进口光刻机额72.3亿美元，同比增长183.8%。算上2023年山东从荷兰进口的10台光刻机，过去14个月里，山东已从荷兰进口了12台光刻机，进口额4.16亿美元。
这里面需要说明的是，从荷兰进口的这些光刻机，基本都是DUV光刻机，并不是最先进的EUV。不过一个变化是，中国从荷兰进口光刻机的价格从去年5月份之前的1000万美元一套，增加到下半年的3000万美元一套。密集引入光刻机，也说明山东各大晶圆厂的产能有保障。诸如青岛芯恩、济南比亚迪半导体、枣庄芯恒基电子、惠科微电子等一批芯片项目已经投产，而且很可能还在不断扩大产能。其中，芯恩项目一期于2021年投产，包含8英寸和12英寸集成电路工厂，测试以及光掩模板工厂。
2024年的青岛政府工作报告中提到，“推动晶圆制造项目规模化量产”。这被外界解读为，此前备受关注的芯恩项目要实现比较大的产能提升。实际上，芯恩的扩大产能早有迹象。去年3月，芯恩再次获得青岛国资27.85亿元增资，注册资本由原来的72.83亿元增至100.68亿元。去年11月，芯恩(青岛)二期电子超纯大宗气体供应项目规划披露。在集成电路制造等生产环节更多、生产要求更严苛、制程更先进的细分领域，电子大宗气体占全部气体成本的比例达到55%。
2024年1月5日，上市公司广钢气体发布公告，公司使用11亿元超募资金实施“粤芯集成电路电子超纯大宗气站项目”、“广钢气体（南通）冷能综合利用空分项目”、“北京长鑫集电二期电子超纯大宗气站项目”、“芯恩（青岛）二期电子超纯大宗气体供应项目（F3阶段）”。其中项目四拟使用超募资金32,000.00万元。济南主要有比亚迪半导体项目，该项目于2021年12月通线。济南比亚迪半导体项目，则是在比亚迪收购济南富能功率半导体项目基础上落成的合作。
因此，相对进展较快。根据济南与比亚迪签署的协议，比亚迪半导体将充分发挥从功率半导体芯片设计、晶圆制造、模块封装与测试到系统级应用测试的全产业链IDM模式的优势，与济南市开展深度合作，共同成立合资公司推进有关半导体项目实现更大突破。从签约内容看，比亚迪在济南布局的高功率芯片生产项目，主要是应用在新能源汽车领域。位于枣庄的芯恒基电子信息产业园项目，一期同样于2021年建成投产，2023年前10个月实现产值34.8亿元。据了解，项目二期芯恒光芯片封测产业园也即将投产，主要包括存储芯片封测车间、光芯片车间及配套设施，项目建成后年可实现封装测试芯片2亿颗以上。
光刻机是半导体制造中至关重要的设备，为打破依赖进口的局面，国内厂商也在不断探索光刻机国产化。不过，不同于应用于芯片制造的前道制造用光刻机，国产化光刻机目前多属于后道封装用光刻机。比如上海微电子，公司主打产品先进封装光刻机占据国内市场份额80%，占全球市场份额近40%，连续多年市占率全球第一。值得一提的是，富士康于2021年11月在青岛投产的首座晶圆级封测厂，便引进上海微电子生产的光刻机。
新核芯科技官网曾于2021年12月发文表示，公司举行了首台光刻机进场典礼。文中表示：光刻机为半导体产业封装厂及晶圆厂关键设备，在如今世界局势的瞬息万变中，新核芯采用国产光刻机，确保将依此稳定生产提高产能。作为西海岸新区重点引进的产业项目，青岛新核芯主要布局半导体晶圆凸块与载板加工制造。据富士康官方报道，这是其在大陆的首座晶圆级封测工厂。
该项目通过导入全自动化搬运、智慧化生产与电子分析等高端系统，打造业界前沿的工业4.0智能型无人化灯塔工厂。运用无铅凸块工艺、铜凸块工艺、重布线工艺，运用扇出型封装等封装技术，封装目前需求量快速增长的5G通讯、物联网、人工智能等应用芯片。今年3月12日，鸿海集团公告，旗下工业富联将增资位于青岛的新核芯科技，投资金额人民币1亿元。业内普遍认为，鸿海集团欲借此次增资扩大AI等高端应用芯片封装布局。相关报道：富士康增资1亿元，青岛芯片产业再有大动作
