2020年10月14日,中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟(以下简称“宽禁带联盟”)第四批团体标准研讨会及两项团体标准复审评审会于中国科学院物理研究所M楼249会议室顺利召开,此次会议旨在对《碳化硅单晶抛光片位错密度检测方法》等五项团体标准进行研讨及复审。
评审会现场
本次会议分为上下两场,分别由北京聚睿众邦科技有限公司总经理闫方亮博士和北京大学王金延教授主持。宽禁带联盟理事长陈小龙研究员,北京天科合达半导体股份有限公司常务副总经理彭同华、北京邮电大学唐为华教授、清华大学微电子学研究所集成电路实验室刘志弘主任、中国科学院物理研究所王文军研究员、中国科学院电工研究所宁圃奇研究员、中国科学院电工研究所高级工程师张瑾、厦门大学物理科学与技术学院张峰教授、国宏中宇科技发展有限公司副总工程师王锡铭、工业和信息化部电子第四研究院工程师闫美存、北京镓族科技有限公司研发主管李培刚、北京世纪金光半导体有限公司技术副主任何丽娟、北京天科合达半导体股份有限公司质量经理佘宗静、国宏中宇科技发展有限公司高级技术主管刘素娟、北京镓族科技有限公司工程师陈旭、宽禁带联盟代理秘书长刘祎晨和副秘书长郑红军等宽禁带联盟标准化委员会委员及此次团体标准起草单位代表参加了本次会议。
标委会委员讨论与评审
首先由郑副秘书长介绍与会专家并致欢迎词,紧接着各牵头起草单位代表分别对团体标准立项及草案的主要内容进行了详细介绍及说明,与会专家针对草案的关键内容进行了深度的协商与讨论,在技术指标、标准格式、标准规范等方面都提出了很多宝贵的修改意见,最后由联盟标准化委员会与会委员表决,通过《碳化硅单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》(牵头单位:国宏中宇科技有限公司)立项申请,通过《 碳化硅单晶》(牵头单位:北京天科合达半导体股份有限公司)、《电动汽车用功率半导体模块可靠性试验通用要求及试验方法》(牵头单位:中国科学院电工研究所)两项标准复审修订申请。
与会专家一致同意以下2项团体标准初审稿通过初审评定:
《碳化硅单晶抛光片位错密度检测方法》(牵头单位:北京天科合达半导体股份有限公司);
《氧化镓单晶衬底片摇摆曲线的测试方法》(牵头单位:北京镓族科技有限公司)。
针对本次讨论会的建议,各起草单位表示将进一步修改和完善标准内容,尽快形成征求意见稿,按照标准制定工作计划进度要求,有条不紊地推动标准工作,以制订出高质量的宽禁带半导体团体标准。
评审会合影
目前宽禁带联盟已发布了团体标准14项,国家标准1项,在研团体标准4项,国家标准3项。联盟是中关村标准化协会首批会员单位,2018年2月联盟获批成为国标委第二批团体标准试点单位,是第三代半导体功率器件行业首家国标委团体标准试点单位,2017年12月联盟通过北京经济技术开发区召开的2017年度新区产业创新联盟发展评估项目的评审并获资助,2017年1月,联盟被北京经济技术开发区产业技术创新联盟促进会评为“优秀社会组织”。宽禁带联盟今后将会继续做好团体标准工作,使团体标准服务于宽禁带半导体产业的技术创新需求。