德国Fraunhofer IOF以激光为光源，测量角分辨散射ARS，双向反射分布BRDF，双向透射分布BTDF，散射损耗，反射，透射等；对表面、薄膜以及材料性质进行表征和分析；可进行在线或离线测量。
特征及参数
可测量参数：散射光（角分辨散射ARS，双向反射分布BRDF，双向透射分布BTDF，散射损耗），θ－2θ，反射，透射
全3D球面测量
入射角，散射角（方位角和极角）波长以及光源的偏振态均可调整
可对样品表面进行区域光栅扫描
桌面型系统（＜1m）
动态范围：15个数量级
等效噪声ARS：低至1×10－9 sr－1
相对粗糙度的分辨率：＜0．1nm
波长：320nm、405nm、532nm、633nm、640nm、808nm和1064nm（其他需求波长）
外部光源耦合的光纤端口（例如：可调超连续光源）
方便操作的测量及分析软件
可分析值：粗糙度，PSD等
应用
对表面，薄膜以及材料性质进行表征和分析
产品质量检测
光学性能分析
粗糙度分析
