本文来自方正证券研究所2021年11月13日发布的报告《北方华创：晶圆厂扩张“卖水人”，平台化布局“刻蚀＋沉积＋清洗＋热处理”》，2021年08月20日发布的报告《半导体刻蚀机研究框架》，2022年04月21日发布的报告《拓荆科技：国产薄膜沉积设备产业化先锋，布局PECVD＋ALD＋SACVD》，2022年06月04日发布的报告《华海清科：国内唯一12英寸CMP设备量产供应商，晶圆厂扩产＋国产替代助推高速成长》，2021年12月31日发布的报告《盛美上海：晶圆厂扩张卖水人，国产半导体清洗设备龙头，平台化布局“电镀＋无应力抛光＋立式炉”》，欲了解具体内容，请阅读报告原文，陈杭S1220519110008 吴文吉S1220521120003
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