在薄膜制造及加工业,检测薄膜的厚度是最常见的薄膜检测指标之一。对涂层厚度的检测将有利于有效控制薄膜各层的厚度均匀性,但对于多层薄膜若想精确测量每一涂层的厚度,在相应的厚度检测设备上就需要有非常大的投资,并随着薄膜层数的增长而加大,给企业带来较大的经济负担。比较经济的方式是对部分价格昂贵的涂层材料进行涂层厚度的检测,同时加强对薄膜整体厚度的测试以达到有效控制其他各层材料厚度均匀性的作用。
对于薄膜厚度测量,大成精密一直持续加大研发投入和不断致力于技术创新。大成精密光学干涉测厚仪专为透明薄膜开发的光学干涉测厚仪能够良好地实现单层或多层透明薄膜的厚度测量。精度极其高,应用甚广,尤其适合厚度要求达到纳米级的透明多层物体的厚度测量。下面给大家介绍下大成精密光学干涉测厚仪:
一、特点:
1、在线实时扫描测量薄膜的厚度,实时反映生产过程中薄膜的厚度趋势,帮助调节生产设备,实现更稳定一致的生产
2、可输出横向纵向趋势图、最大值、最小值、极差、CPK等统计参数
3、高精密厚度测量,重复精度达0.4nm
4、可同时检测多层材料厚度
5、适用于光滑表面透明膜厚度测量
二、应用
光学膜涂布、太阳能晶圆、超薄玻璃、胶带、Mylar膜、OCA光学胶、光阻等测量。
应用在涂胶工序时,该设备可放置于涂胶池后、烘箱前,在线测量涂胶的厚度;也可以在线测量离型膜涂布的厚度。
三、测量原理
利用光入射不同界面发生反射和透射而产生干涉条纹的原理,测量被测物的厚度。
四、参数:
1、测量范围:0.1um~100um
2、测量精度:0.4%
3、波长范围:380nm~1100nm
4、响应时间:5~500ms
5、测量光斑:1mm~30mm
6、动态扫描测量重复性:10nm
另外大成精密的产品还可以应用于以下领域的厚度检测:
深圳市大成精密设备有限公司作为国家级高新技术企业,致力于锂电池极片检测的研发、生产与应用,是目前中国最具技术水平和规模实力的锂电池极片检测设备研发制造商之一,现已成为锂电池极片检测领域优秀的装备制造商。
公司专注于锂电池极片面密度及厚度的无损检测,主要产品有X射线面密度测量仪、β射线面密度测量仪、高精度激光测厚仪、激光射线一体微斑面密度测量仪等。目前在国内锂电池极片检测市场份额占比超过60%,已与ATL、BYD等各大锂电一线企业保持长期深度合作关系。