与ICP-OES（电感耦合等离子体发射光谱仪）相比，ICP-MS具有检出限更低、线性动态范围更宽、干扰更少等优点。
ICP-MS，电感耦合等离子体质谱仪，一种分析仪器，以ICP（电感耦合等离子体）作为质谱的高温离子源，通过离子质荷比不同对被测样品进行测定分析。ICP-MS将等离子体的电离特性与质谱仪的高灵敏特性相结合，是一种重要的无机元素分析仪器。
ICP-MS主要由样品引入系统、气体供应系统、离子源、真空系统、离子聚焦系统、质量分析器、检测系统、计算机等组成。ICP-MS工作时，被测样品通过样品引入系统进入离子源，离子源（ICP）将惰性气体电离产生高温高能等离子体，等离子体将样品电离成离子，质量分析器按照质荷比大小将这些离子分开，检测系统通过测量离子流强度确定元素含量。
根据新思界产业研究中心发布的《2023-2027年电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，ICP-MS具有检测限低、线性动态范围宽、灵敏度高、分析速度快、分析精度高、多元素同时测定、可测定同位素、分析元素范围宽等特点，可以分析除碳、氢、氧、氮、氟、惰性气体以外的几乎所有元素，能够分析其他方法难以测定的稀土元素、贵金属、铀等。与ICP-OES（电感耦合等离子体发射光谱仪）相比，ICP-MS具有检出限更低、线性动态范围更宽、干扰更少等优点。
ICP-MS主要对溶液样品进行分析，固体样品需先溶解，再将溶液雾化为溶胶经样品引入系统送入离子源，若溶胶颗粒过大会被排出。ICP-MS可以广泛应用在地质勘探、石油化工、冶金、材料学、环境监测、核工业、生物医药、农业、食品安全等领域。
环境监测、食品安全、材料学是ICP-MS的主要应用场景，合计需求占比达到80%以上。在环境监测领域，ICP-MS可用于水体（河流、湖泊、海洋）、土壤、污泥、固体废弃物等成分含量分析方面；在食品安全领域，ICP-MS可用于食品、酒水、饮用水、烟草等成分含量分析、质量检测方面；在材料学领域，ICP-MS可用于高纯金属、高纯试剂、晶体硅、光刻胶、清洗剂等纯度分析、成分分析方面。
2020-2025年，我国质谱仪市场将以11%左右的复合年均增长率增长，其中2022年，我国质谱仪市场规模约为172亿元。ICP-MS作为一种高灵敏度、高精度的质谱仪，在多种元素分析领域不可或缺，应用范围极为广泛，特别是随着科学研究日益深入、高技术产业不断发展，其拥有广阔市场前景。
新思界行业分析人士表示，在海外市场中，ICP-MS生产商主要有安捷伦（Agilent）、赛默飞世尔（Thermo Fisher）、珀金埃尔默（PerkinElmer）、岛津（Shimadzu）、耶拿分析仪器（Analytik Jena AG）等；在我国市场中，ICP-MS生产商主要有钢研纳克检测技术股份有限公司、聚光科技（杭州）股份有限公司、江苏天瑞仪器股份有限公司、上海美析仪器有限公司、北京吉天仪器有限公司等。
