真空版本XYZ65N81K26是一款采用压电螺钉驱动的XYZ三维运动平台，可实现毫米级大行程位置调整，行程可达25．4mm／轴，同时可实现纳米级位移增量，广泛应用于精密定位及半导体测试等领域。同时适用于真空应用环境要求，真空度可达10＾－5Pa。
平台采用真空版本压电螺钉驱动，全行程内具有超过20nm的分辨率，额定负载30N，设计结构紧凑，具有出色的长期稳定性且能在断电情况下继续保持在设定位置。
特点
• XYZ向运动
• 行程可达25．4mm／轴
• 分辨率达0．5μm
• 真空度打10＾－5Pa
• 可定制闭环版本
应用
• 平版印刷
• 纳米压印／纳米计量学
• 半导体技术／半导体测试
• 在强磁场和真空中运动
1～3维运动平台
该系列真空版本运动平台，可实现X、XY、XYZ等多轴运动，均可实现25．4mm的精密位移调整。
技术参数
型号：XYZ65N81K26
运动自由度：XYZ
行程范围：25．4mm／轴
最小位移增量：＜30nm
分辨率：0．5μm
中心负载：50N
轴承：滚珠
材料：铝
工作温度：10～40℃
端口：4－Pin
出线长：2m
推荐控制器
该系列平台可由驱动器E53．C4K通过USB接口进行4轴开环控制。
