P12B．XYZ100压电扫描台为3维并联式平移扫描台，台体中心通孔，内部采用无摩擦的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化结构，具有高导向精度、高刚性、大负载、无磨损等特点。
平台内可选择配置高性能传感器进行全闭环反馈，实现0．05％F．S．重复定位精度。P12B．XYZ100压电扫描台扫描范围可达100μm／轴，闭环扫描精度高，直线运动无偏航。产品广泛应用于表面测量、显微成像等应用领域，同时适用于真空应用，满足客户真空应用需求。
特点
· 三维XYZ向运动
· 行程100μm／轴
· 中心通孔Ø10mm
· 适用于真空应用
应用领域
· 扫描显微／表面测量
· 共焦显微／半导体测试
· 晶圆定位／图像处理与稳定
· 光纤定位／光学扫描
电压位移曲线
技术参数
型号：P12B．XYZ100
运动自由度：XYZ
行程范围（0～150V）：100μm／轴
传感器类型：SGS
中心通孔：Ø10mm
外径：Ø49mm
静电容量：3．6μF／轴
承载能力：0．2kg
工作温度范围：－20～80℃
材质：钢、铝
外形尺寸（高）：38．5mm
出线长：1．5m
传感／电压连接器：LEMO
