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“芯”技术!优可测携半导体精密测量产品亮相“湾芯展”

优可测 2025-10-16 15:00 发布于广东 发文

“芯”生态,“圳”绽放!

ATOMETRICS优可测将携精密测量技术亮相

2025湾区半导体产业生态博览会!

本届湾区半导体产业生态博览会

将于10月15日~17日

深圳会展中心(福田)举行

今年将有哪些

“芯”特色、“芯”亮点、“芯”成效?

来源:深圳发布

10月10日,深圳市政府新闻办举行新闻发布会,介绍“2025湾区半导体产业生态博览会”相关情况。“湾芯展”是国内外半导体产业链、供应链和价值链深度融合的交流平台,致力于“打造中国半导体自主品牌第一展”。本届展会除设置先进封装、晶圆制造、化合物半导体、芯片设计等四大核心展区外,还打造了AI芯片与边缘计算生态、RISC-V生态、Chiplet与先进封装生态三大特色展区。

|亮点抢先看

“湾芯展”现场,优可测将展出高精度量测解决方案,满足制造业升级、新工艺探索阶段的微米、亚微米、纳米、亚纳米级测量需求:

01

封装基板3D自动检测设备Elite Pro系列:

一站式封装基板三维检测解决方案,超高测量精度,超高检测效率,丰富的测量功能。Z轴扫描速度,最快可达400μm/s,台阶高度重复性< 0.3%。

02

晶圆三维量测设备WPM系列:

一站式晶圆量测方案,高精度、高速度、对接OHT全自动在线测量,表面形貌重复性高达0.03nm,,台阶高度重复性<0.08%,扫描速度高达17μm/s。

03

Die Shift偏移测量设备PLP-Elite View DS系列:

在线3D视觉检测解决方案,分辨率达0.1μm。可应用于红外CCD Die Shift测量for 2.5D先进封装;FCB后计算Die与Basewafer的位置关系。

04

白光干涉仪AM-8000系列:

半导体领域可测量CMP抛光后粗糙度、外延后粗糙度与缺陷、光刻胶厚度与形貌、Substrate/TSV/TGV粗糙度与形貌尺寸等,一键自动对焦调平,支持批量多点位测量。

05

白光干涉仪AM-7000系列:

以大量程、高精度的高速压电陶瓷单元驱动,精度高达0.03nm,扫描速度高达400um/s,可测量表面粗糙度、轮廓、形貌、台阶、面型、PV、盲孔等。

06

全自动非接触厚度测量仪APS系列:

一站式全流程检测解决方案,适用于减薄、抛光、热处理、外延、镀膜、光刻等工艺流程中的TTV/Bow/Warp测量,支持逐行、米字、自定义坐标扫描。

07

薄膜厚度测量仪AF-3000系列:

可以进行纳米级薄膜涂层厚度测量,分辨率0.01nm,可测10层膜,支持离线、在线、Mapping等场景,适用于薄膜沉积、光刻、蚀刻等工艺的氧化层、光刻胶、蚀刻层厚度测量。

欢迎各界人士莅临优可测展台技术交流,共探半导体未来!

声明:本文为OFweek维科号作者发布,不代表OFweek维科号立场。如有侵权或其他问题,请及时联系我们举报。
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