激光检测设备中，主要有激光干涉仪、激光平面干涉仪、激光跟踪仪，但是很多朋友弄不清这三者的区别和应用，下面小编就来详细介绍这三者的区别，让您不在犯晕！！！
1.激光干涉仪
激光干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统丈量位移的通用长度丈量工具，是校准数控机床、坐标测量机、测长机、电动滑台、线性模组及其它定位装置精度及线性指标最常用的标准仪器。一句话概括就是激光干涉仪是用来检测设备运动精度的仪器。
国内代表品牌型号:
中图仪器SJ6000
主要参数：
稳频精度：±0.05ppm
测量精度：±0.5ppm
线性测量距离：（0～80）m （无需远距离线性附件）
测量分辨力：1nm
应用图例：
2.激光平面干涉仪
激光平面干涉仪运用移相干涉原理提供高精度的平面面形、球面面形曲率半径样品表面质量传输波前的测量和分析，其主要用于平面和球面的面形检测 ；平面楔角测量、直角棱镜的直角偏差和任意角度的加工偏差 ；光学材料均匀性测量 ；角锥角度和面形偏差测量 ，在光学玻璃元件（包括玻璃、金属、陶瓷等）应用最为广泛。
国内代表品牌型号:上光/乾曜。
3.激光跟踪仪
激光跟踪仪是空间大尺寸三维坐标测量仪器，是一台以激光为测距手段配以反射靶标的仪器，它同时配有绕两个轴转动的测角机构，形成一个完整的球坐标测量系统。主要用于大型零件加工检验、部件组装、型面检测、机器人姿态调整以及动态跟踪，在航空航天、轨道交通、汽车船舶、大型装备、机器人、高等院校中有着广泛应用。激光跟踪仪主要功能之一就是大尺寸形位公差测量，因为被称之为大尺寸测量利器。
国内代表品牌型号：中图仪器GT1
