为解决微型零件加工需求，速科德创新研发了超高精密设备KASITE－SKD系列微纳加工中心，加工余量范围20nm－100μm。
一、设备核心技术
高速主轴：德国进口品牌Kasite／SycoTec，最高转速60，000rpm，精度≤1μm
视觉系统：上下两个高倍率远心镜头相机，2，000 W高清像素，空间分辨率≤1μm
直线电机：进口品牌直线电机，高精度、高响应
光栅反馈：10nm、20 nm、50 nm、100 nm
二、相机功能优势
上相机：
① 标定刀具中心和相机中心误差。
② 在线检测工件尺寸确定余量后进行微纳加工。
下相机：
① 对刀功能（ 静态刀具XYZ值的对刀）。
② 刀具动态的刀摆补偿。
三、软件优势
1．自带CNC功能的运动控制卡编程运算各指令。
2．自定义运动轨迹控制，编辑不同形状，自动完成零件加工需求。
四、设备规格
五、应用领域
设备广泛应用于航空航天、光学、生物医学、半导体、通用机械加工、模具制造等领域钻、铣、磨高精密加工。
六、加工应用案例
高精度微深孔加工：孔深系数（D／L）约等于100
微小椭圆高精度加工：按椭圆轨迹磨削加工扩展到短轴0．75mm，长轴0．9mm，圆度公差≤2μm
高精密微针加工：微针形状为圆锥形、圆柱形、三棱锥、四棱锥等，高度600－800μm，底边长200μm，针体间距500－800μm
文章来源：速科德电机科技
