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上海集成电路材院研究院:材料创新研发和产业化的新探索

科闻社 2023-05-23 17:40 发文

(本篇文篇章共1631字,阅读时间约4分钟)

诚如中国集成电路材料创新联盟石瑛秘书长所言,本土集成电路材料目前只是实现了0-1的突破。材料短板,严重制约了产业整体的发展。据了解,晶圆制造端的工艺材料、先进封装材料,以及衬底材料,本土企业还未达到20%的比例。总而言之,材料研发和产业推进于中国来说是任重道远。

显然,加快材料领域的突破是一个关键性的基础性的环节。为此,在中国集成电路产业最集中的上海,中科院微系统所和沪硅产业集团于2020年6月联合发起成立了上海集成电路材料研究院

近日,上海集成电路材料研究院总裁冯黎在2023中国集成电路材料创新大会介绍了该院的研发体系、基本的运作模式以及所取得的阶段性成果。

冯黎总裁首先指出,集成电路材料之所以难,是因为其有四个特点,一是非常杂。有非常多的跑道,需要一一攻克;二是要高精度、高纯度,行业壁垒较高;三是市场却相对较小。国际知名集成电路材料公司的市值和销售额,只有设备公司的1/5~1/10;四是集成电路材料需要非常长的研发与认证周期。一般说来,一款材料进入到客户端至少需要两年以上时间。

针对集成电路材料的上述特点,冯黎总裁介绍:该研究院定位为新型研发机构,旨在帮助加快材料的创新和研发的迭代,重点关注晶圆制造材料的研发和产业化。具体说来,上海集成电路材料验究院有三大研发方向。

1.针对晶圆制造中用量最大的占比达35%硅片衬底材料进行研发和产业化推动,同时也包括SOI以及SOI异质集成;

2.重点针对八大材料中的工艺材料、光刻材料的研发与产业化;

3.材料背后的原材料及配套材料,比如光刻胶上游的树脂等也是一个重要领域。

围绕目标与任务,上海集成电路材料研究院成立了三个实验室。

性能实验室。主要是提供全面、系统性的集成电路材料测试表征分析、针对集成电路材料的测试表征技术进行研究并确定关键性的控制指标、建立集成电路材料分析测试及操作规范的行业标准。具体到行业的帮助,就是进行材料本身的测试,与国际上的产品进行比对,使得材料能更快地符合产业一致性的需求

应用实验室。主要围绕设计短流程工艺、对集成电路工艺材料提供应用开发环境,将工艺流程与材料研发相结合,为材料企业加速材料开发提供技术支持,对特定的集成电路工艺材料,形成集成电路、工艺、设备、测试的整体解决方案;

合成实验室。主要是开发新的化学合成技术、合成结构精准集成电路材料,探索放大工艺,制备批次重复性好的公斤级集成电路材料,开发纯化技术。具体说来,主要是从事光刻胶、树脂等方面的研发。

除三个实验室外,随着人工智能技术的深入发展,上海集成电路材料研究院还结合人工智能技术设立了一个材料基因组

冯黎总裁将材料基因组比喻为IC材料领域的CHatGPT。主要做法是,通过人工智能for IC的探索,在大量数据的帮助下,让人工智能进行自学习,学习并判别材料本真和对标的国际材料公司的差别。特别是在客户端以及外部的产品端提出了对一些产品的所需材料的定义。基因组据此定义与要求,不断地进行验证,能够将验证时间和次数大大的降低,帮助新材料尽快的进到客户端。同时也能够对材料再进一步的迭代形成一定的支持。

据冯黎总裁透露,透过三个实验室和一个材料基因组,研究院成立了以来,已经服务了一批以材料企业为主的客户,基本上覆盖了材料的八大领域。通过服务这些材料公司,研究院也扩大了数据库,数据的不断积累也可以反馈至产业化的迭代。

在全面介绍上述情况后,冯黎总裁强调,“上海集成电路材料研究院,重点就是在这个平台上,与本土材料企业共同进行产品的迭代,推动材料新品的研发。”

此外,上海集材电路材料研究院,“作为新型研发机构和开放平台,也在瞄准本土缺失的材料领域进行企业的孵化,并实施‘种子策略’,为初创的材料公司提供部分的基础设施和共享‘大脑’。”

另据冯黎总裁透露,在取得阶段性成果的基础上,为深化本土集成电路材料的研发和产业化推动,上海集成电路材料研究院正在与相关研究机构合作发起筹建国家集成电路材料技术创新中心

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