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电子半导体图像法清洁度分析系统的典型应用

普洛帝测控 2020-05-30 08:56 发文

电子半导体图像法清洁度分析系统的典型应用,特别是PCB板的清洗验证和检测,玻璃面板清洗后的颗粒检测,芯片的光刻后清洗的验证。

电子半导体清洁度分析系统是普勒新世纪实验按照普洛帝分析仪器事业部的规划,于2001年推向市场的成熟系统仪器;

观察颗粒形貌,还可以得到粒度分布、数量、大小、平均长径比以及长径比分布等,为科研、生产领域增添了一种新的粒度测试手段;

电子半导体清洁度分析系统为一种图像法粒度分布测试以及颗粒型貌分析等多功能颗粒分析系统,该系统包括光学显微镜、图像测试 CCD 摄像头、三维立体载物平台、图像法颗粒分析系统软件、电脑、打印机等部分组成;

测试软件具有审计追踪、权限管控、电子记录、测试标准、计量验证、报告模板、图像存储、颗粒追踪、报告输出、清洁度分析等功能;

全面自动标准选择、颗粒尺寸设定、颗粒计数,或按用户设定范围计数,自动显示分析结果,并按照相关标准确定产品等级;

将传统的显微测量方法与现代的图像处理技术结合的产物;

专业软件控制分析过程,手动对焦,手动光强(颗粒清洁度测试必须人为干预进行),自动扫描,自动摄入,自动分析;

专用数字摄像机将显微镜的图像拍摄及扫描;全自动膜片扫描系统,无缝拼接,数字化显微镜分析系统;

R232接口数据传输方式将颗粒图像传输到分析系统;

颗粒图像分析软件及平台对图像进行处理与分析;

引入3D遥感三维调控技术,快速定位,快速聚焦,体验极速无卡顿测试。

显示器及打印机输出分析结果;

直观、形象、准确、测试范围宽以及自动识别、自动统计、自动标定等特点;

避免激光法的产品缺陷,扩展检测范围;

现实NAS、ISO等国际标准方法的认可;

提供行业独有的“OIL17服务星”签约式服务;

产品应用:

航空、航天、电力、石油、化工、交通、港口、冶金、机械、汽车制造、制冷、电子、半导体、工程机械、液压系统等领域;

对各类固体粉末、各类液体中的固体颗粒(非连续相测试)。

执行标准:

0.1~3000μm的超宽范围、超高分辨率。

可根据客户要求,植入相应“图像法颗粒度”测试和评判标准。

技术参数:

产品型号:PLD-MPCS2.0

订制要求:各类液体检测要求;

测试范围: 1μm-500μm

放大倍数:40X~l000X倍

最大分辨:0.1μm

显微镜误差:0.02(不包含样品制备因素造成的误差)

重复性误差:< 5%(不包含样品制备因素造成的误差)

数字摄像头(CCD):500万~1800万像素

分析项目:粒度分布、长径比分布、圆形度分布等

自动分割速度:< 1秒

分割成功率:> 93%

软件运行环境:Windows 10

接口方式:RS232或USB方式

精 确 度:<±3% 典型值;

重合精度:10000粒/mL(5%重合误差);

分 辨 率:>95%

售后服务:普洛帝服务中心/普研检测。

电子半导体图像法清洁度分析系统的典型应用,特别是PCB板的清洗验证和检测,玻璃面板清洗后的颗粒检测,芯片的光刻后清洗的验证。


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