P15．XY100S／K65－B1为二维XY向运动压电平台，具有超薄的外形，可进行每轴100μm范围内的纳米级位置调整，P15．XY100S／K65－B1对于纳米范围的对准、纳米聚焦、测量等应用是非常理想的。可选配桥式配置的闭环传感器，消除温度漂移，保证了纳米范围的定位稳定性。同时，通过FEA优化了直线度与平面度，结构更紧凑、响应速度更快。
特点
• 二维XY向运动
• 行程达100μm／轴
• 承载力达500g
• 超薄尺寸
• 可安装真空吸盘
典型应用
• 表面检测
• 显微成像
• 激光技术
• 半导体加工与测试
大通孔 快速聚焦
P15．XY100S／K65－B1压电显微扫描台，大通孔设计主要是为了满足各种样品夹持结构，如真空吸盘。
压电陶瓷驱动具有快的响应速度，大大提高了成像捕获能力。对于有定位精度及稳定性需求的应用，可以选择配置SGS闭环传感器，提供高分辨率、快速响应的传感电压信号给压电控制器。全桥设计避免了温度的漂移，确保了纳米级定位精度。
表面绝缘压电陶瓷提供长使用寿命
压电扫描台采用高一致性、高稳定性的表面绝缘压电陶瓷，陶瓷抵抗外部环境的能力高且无漏电现象。
电压位移曲线
线性度曲线
技术参数
型号：P15．XY100S／K65－B1
运动自由度：XY
行程范围（0～120V）：80μm／轴
行程范围（0～150V）：100μm／轴
闭环传感器：SGS
通孔尺寸：55×65mm
闭／开环分辨率：10／5nm
闭环线性度：0．15％F．S．
闭环重复定位精度：0．05％F．S．
俯仰／滚动／偏航：≤10μrad
空载谐振频率：490Hz
闭／开环空载阶跃时间：50／20ms
承载能力：500g
静电容量：14．5μF
台体材料：铝
电缆长度：1．5m
