8寸 VS 12寸,Micro LED的“拼豆游戏”。
作者|段嘉许
编辑|山子
Micro LED这几年受各路市场影响,呈现出增长趋势。

最先放量的是大尺寸专业显示市场。利亚德Micro LED新签订单从2023年的6.3亿元增至2024年的11亿元以上,2025年进一步超过17亿元;洲明科技2025年Mini/Micro LED业务收入达到12.54亿元,同比增长49.1%,相关产品出货面积增长57.04%。
在上游,京东方华灿依托6英寸Micro LED生产线,已经实现Micro LED晶圆和像素器件的稳定量产与商业交付;在AR微显示领域,JBD披露,其Micro LED微显示屏2024年出货量同比翻倍,采用其方案的智能眼镜也由2023年底的18款以上,增加至2025年的近50款。
不过,这种增长并不是均匀落到每家企业头上的。最先形成规模化商业需求的是大尺寸专业显示,但Micro LED的增量市场正在发生变化。2025年,AR智能眼镜已经成为Micro LED显示增长最快的应用之一。不过从整个消费电子产业来看,Micro LED的绝对规模仍然很小,全彩AR微显示距离低成本、稳定的大规模生产也仍有距离。
这也意味着,理解Micro LED的发展,还要有继续要追问的问题,比如同一种显示技术,为什么在AR眼镜上仍然困难重重?
答案可能还是要回归制造。追焦XR也带着这些问题采访了一位业内专业人士。
Micro LED,难在“Micro”
要了解Micro LED面临的实际情况,我们可能要先稍微对Micro LED形成一些印象。
人类从红、绿LED走向红绿蓝三色LED,花了约30年。

现在有了Micro LED。即便是同一个逻辑,但把LED缩小到几微米(一微米大概是一根头发丝的1/80),就面临着很多新的问题。
我们知道,LED显示的好处就是每个发光二极管可以单独控制,让哪儿亮哪儿亮。

所以它的结构,简单来理解就是两层,上面是一层负责发光的灯泡(Micro LED阵列),下面是一层负责指挥的电源(CMOS驱动背板)。
整个过程我们甚至可以用更简单粗暴的方法理解,它就是拼豆,先在模具(晶圆)上注塑,做成一个整体,再切割(光刻)做成一粒粒的豆子,彩色的豆子就需要不同颜料和材料与塑料搅拌,再放在拼豆板上拼好,最后熨烫(和CMOS结合)。
在微米级别的世界里,这简单过程的每一步,都充满难题。
比如第一步的生长,蓝、绿光Micro LED常用氮化镓、铟镓氮等半导体材料。这些发光材料通过MOCVD等设备,在蓝宝石、硅等衬底上进行外延生长。

MOCVD可以理解为一个巨大的烤箱,把衬底放在里面,向其中通入含有镓、氮等元素的气态原料,让它们在高温下分解、反应,并沿着衬底提供的晶体取向,逐渐形成我们需要的、规整的半导体晶体。
在这一步里,晶格失配(长歪了)、温度、气流、热应力等等的变化,都可能造成缺陷。举个例子,就像我们玩热缩片或者熨烫拼豆一样,受热之后边缘会卷曲,而Micro LED生产中,本身那个底板越大,受热不均就可能导致翘曲,甚至波长发生偏差,最后表现成颜色和亮度不一致。
就算有了材料,Micro LED的“Micro”本身也会制造问题。
在长出来之后,发光材料是一个整体的板,要变成独立的“点”,就要把不需要的部分打掉,就像一整板巧克力被切成小方块。

对普通尺寸的LED来说,刻蚀造成的边缘损伤只占很小一部分。但到了几微米的世界,发光单元本身就很小,边缘相对于整个器件的占比会明显增加。
这些被“刻”过的边缘更容易出现晶体缺陷。本应该在发光区域复合、释放光子的电子和空穴,一旦跑到这些缺陷附近,就可能提前发生非辐射复合,能量更多变成热,而不是光。
这就回到了一个很熟悉的问题。我们当年逐渐淘汰白炽灯,很大原因就是它把太多电能变成了热,而不是可见光(传统白炽灯大约90%的能量以热的形式释放)。
对Micro LED来说,如果微缩反而让越来越多能量以热的形式损失,发光效率就会成为一个很难接受的问题。
而在此时此刻的AR行业又在走向全彩,这可以说是“还有高手”。
要做到全彩至少具备三原色,而蓝、绿Micro LED常用氮化镓/铟镓氮体系,红色则是不同的路线,三种颜色从外延到器件加工,面对着不同的工艺条件,最后还要组合、跟CMOS连接。

这其中,每一步都是在背负着“良率的乘法衰减”在行动。每一道工序留下的问题,都不会凭空消失,而是持续累计,假设每个关键环节都有90%的良率,但经过十个这样的环节,理论上就只剩约35%。而正常大规模消费电子品的出厂时,不良率往往要被压到千分之一甚至更低。
这也是最实际的问题,就是实验室和工业化生产之间的鸿沟。我们要标准的、省钱的、高效率的生产,就需要更好的生产工艺。
也正是在这样的背景下,晶圆尺寸开始从一个制造参数,变成Micro LED新的关键词。
8寸和12寸晶圆,到底在争什么
Micro LED现在有一个尴尬的矛盾。
前文提到,Micro LED最基础有两层,Micro LED阵列和CMOS。
“最先进的设备全都堆积在12寸上,这是几十年行业发展的结果。”受访业内人士说。经过半导体行业几十年的积累,负责驱动显示的CMOS背板,已经稳定在12寸晶圆。负责发光的Micro LED前板,目前仍主要停留在4寸、6寸这样的尺寸,8寸都还有大量工程问题需要解决。
一上一下两块板,尺寸对不上。
如果直接把小尺寸的Micro LED前板和12寸CMOS背板结合,CMOS上会有大量面积白白浪费。而在采访中,该业内人士也告诉追焦XR:“硅很便宜,蓝宝石也很便宜。核心贵的是背板,是原材料中最贵的一个。”

那为什么不把Micro LED也做到12寸?
答案还是第一部分讲过的材料问题。晶圆面积越大,外延生长中的应力、翘曲、均匀性等问题越难控制。
业内人士说:“硅衬底做到6寸比较容易,做8寸也可以。8寸里面有很多工程化细节挑战。红光用的材料体系做到8寸极其难,产业界没有人量产,12寸更没有机会。”
“业界就是这个状态。材料本身都是晶体,做晶体的过程就决定了能做多大。做大的时候会面对非常严苛的问题,尤其是砷化镓这一类产品。”
所以有没有人取个中间值,先做8寸呢?
有的。现在业内有一些企业以8寸为目标进行探索。在这次采访之前,一家采用8寸晶圆的Micro LED企业就曾向追焦XR表示,相比4寸平台,更大的晶圆可以一次生产更多器件,从而明显降低成本。
从Micro LED前板本身来看,这个逻辑并不难理解。但如果把后面的12寸CMOS也算进来,事情就开始变复杂了。
按照受访业内人士在采访中给出的计算方式,一张8寸圆片直接对应一张12寸CMOS时,8寸晶圆半径为4寸,面积比例只有16∶36,也就是约44%。换句话说,外围超过一半已经加工好的12寸CMOS面积,无法被这张8寸前板利用。


反而是尺寸更小的4寸晶圆,可以在12寸圆片上排列多个,整体面积利用率更高。
当然也不只是浪费高成本的CMOS,还有键合问题。上面的“灯泡”要跟下面的“电源”一一对齐,对双方的平整度、精准度要求都非常高,尺寸大了,难度还会更高。
受访业内人士表示:“12寸做8寸还有机会直接键合,但做12寸不太可能,因为要考虑背板和前板的匹配性。不管采用哪种材料和衬底路线,8寸已经是极限,产业界其实也做不好。”
前面我们说过,上面的蓝绿光做到8寸已经存在工程挑战,红光更加困难,还要做12寸Micro LED和下面12寸的CMOS直接键合,更是难上加难。
但也不是完全没办法。
JBD就选择了另一种思路,“拼好圆”。
JBD将这套工艺称为“Die-to-Carrier-to-Wafer”,先继续使用已经相对成熟的小尺寸外延晶圆,把它切成一个个die(就像整板巧克力里的一小块)。在进入昂贵的后续工序之前,先进行检测,把其中有缺陷的die筛掉。

随后,再把这些合格die按照设计好的位置,重新排布到一张12寸临时载板上,组成一张“重构”的12寸Micro LED外延晶圆,最后再和一整张12寸CMOS背板进行键合。
这样就相当于利用了半导体行业沉淀多年的、用处最广的12寸CMOS优势和目前Micro LED比较成熟的方案进行匹配,取长补短。
不过,12寸带来的降本也不能简单换算成一个确定数字。受访业内人士在谈到降本幅度时表示,现阶段很难给出准确比例。
他也提出更合适的参照:“看硅基从6寸到8寸到12寸的过程,数据变化的逻辑是相似的。可以在越来越小的面积上实现同样功能,成本会按面积比例下降。”
再回看,Micro LED在面对AR行业需求的时候,所谓的8寸和12寸晶圆之争,实际上还是生产的问题,考验的是谁能让Micro LED发光前板和已经成熟的12寸硅基制造体系更高效地匹配。
12寸背后,是一场量产仗
“样品到批量中间有巨大的工程价值。”
受访业内人士在采访中提到的这句话,也是我们在认识Micro LED时,必须认识的问题。
在他看来,单色Micro LED做出样品并没有想象中那么困难,真正耗费时间的是后面的工程化:“你得把它调好,还要看批量能不能复制,这是工程化问题。工程化需要很多时间。”更进一步来说,要想从单色再走向彩色,又会继续面对红光、堆叠、合光等新的问题。
这种工程化的问题,这其实也解释了为什么到了今天,Micro LED企业开始越来越频繁地谈论4寸、8寸、12寸晶圆。
因为我们需要考虑稳定、可复制、良率,同时还要不断提高生产效率、扩大产能,把成本压到消费电子能够接受的范围。
比如传统硅半导体产业过去几十年不断从6寸、8寸走向12寸,伴随的不只是晶圆面积增加,还有整个制造体系的升级。
“12寸就黑灯工厂(指全流程自动化生产)了,你不要工人了,生产效率高了,然后产能也容易扩大。”上述受访业内人士表示,“最先进的设备全都堆积在12寸上……这是几十年行业发展的结果。”

举个例子,12寸CMOS背板是在一整套围绕300mm晶圆建立的制造平台上生产的。其中包括晶圆盒、刻蚀设备、检测设备等,它们尺寸、抓取位置,乃至自动搬运流程都是按300mm设计的。
如果换成其他尺寸,就没办法享受到那套围绕12寸建立起来的最高度自动化、最高吞吐量和先进设备生态——而这套恰恰才是工业化上最重要的一环。

从企业动作上,也已经可以看到这种变化。
比如在今年5月,JBD宣布推进Micro LED微显示的12英寸晶圆量产架构升级,并把这次升级直接指向”制造效率、成本结构与规模供给能力“的提升。此前JBD也多次把提升智能制造水平、扩大规模化量产能力和降低成本列为Micro LED产业化的重要方向。
其实不难判断,随着AR+AI等应用范围扩大,市场会出现一波对于高质量Micro LED非常具体的需求,就像是产品“倒逼”技术成长一样。
这与许多业内人士对于Micro LED工业化升级、技术探索的观点在本质上是一致的:“ 这个东西得从产品出发,不能在技术上臆想。”
