白光干涉仪的拼接测量功能，能够针对样品的同一区域进行不同模式...

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2023-03-01 09:31 发布于广东发文

白光干涉仪的拼接测量功能，能够针对样品的同一区域进行不同模式的检测。SuperViewW1白光干涉仪拼接功能3轴光栅闭环反馈，在样品表面抽取多个区域测量，可以快速实现大区域、高精度的测量，从而对样品进行评估分析。不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。

SuperViewW1白光干涉仪XY载物台标准行程为140*110mm，可以测到12mm，也可以测到更小的尺寸，局部位移精度可达亚微米级别，可以测量非常微小尺寸的器件；也可以使用自动拼接测量、定位自动多区域测量功能将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像，从而获得物体整个区域的表面情况。